LG запустила продажи литографа за $2 млн
Институт производственных технологий LG (LG PRI) начал коммерческие поставки собственной системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (LDI). Первыми заказчиками стали LG Innotek и один из зарубежных производителей печатных плат. Об этом сообщает издание «IXBT News» со ссылкой на LG.
Институт производственных технологий LG (LG PRI) начал коммерческие поставки собственной системы прямой лазерной литографии высокого разрешения (LDI). Первыми заказчиками стали LG Innotek и один из зарубежных производителей печатных плат. Об этом сообщает издание «IXBT News» со ссылкой на LG.
«Система лишь недавно вышла в серийное производство, однако компания уже ведет переговоры с новыми клиентами и реализует совместные проекты», — сообщили в LG.
Стоимость одной установки составляет примерно $2 млн.
Главная особенность новой разработки — полный отказ от фотошаблонов. Вместо них рисунок формируется непосредственно ультрафиолетовым лазером, который наносит схему сразу на поверхность заготовки. Такой подход позволяет существенно сократить время подготовки производства, упростить внесение изменений в конструкцию изделий и снизить производственные затраты, особенно при выпуске небольших партий.
По данным LG, система способна создавать элементы размером от 1,5 до 3 микрометров. Для повышения точности она оснащена фирменной технологией RTAC (Real-Time Active Compensation), которая в режиме реального времени отслеживает и компенсирует возможные деформации материала во время экспонирования. Это позволяет работать с крупными подложками размером до 600 × 600 мм.
Новая установка рассчитана на производство современных полупроводниковых подложек и слоев перераспределения соединений (RDL). Она поддерживает работу с различными материалами — от традиционных печатных плат до кремниевых пластин и перспективных стеклянных подложек. В LG рассчитывают, что оборудование найдет применение при выпуске современных решений для упаковки микросхем, включая технологии FoCoS и CoPoS.
Подписывайтесь на наш Telegram-канал, чтобы быть в курсе всех новостей и событий Рунета.