Россия направит 31,7 млрд рублей на создание центра по выпуску фотошаблонов
В Зеленограде на базе НИУ МИЭТ создадут Научно-технологический центр фотошаблонов (НТЦ ФШ) стоимостью не менее 31,7 млрд рублей. Центр должен стать одним из ключевых элементов российской микроэлектронной отрасли. Об этом сообщает CNews со ссылкой на материалы проекта.
В Зеленограде на базе НИУ МИЭТ создадут Научно-технологический центр фотошаблонов (НТЦ ФШ) стоимостью не менее 31,7 млрд рублей. Центр должен стать одним из ключевых элементов российской микроэлектронной отрасли. Об этом сообщает CNews со ссылкой на материалы проекта.
Основную часть финансирования в размере 24,3 млрд рублей выделит Минпромторг на закупку технологического оборудования. Еще 7,4 млрд рублей предоставит правительство Москвы на строительство производственного комплекса. Изначально стоимость строительства оценивалась в 3,6 млрд рублей, но смета выросла более чем вдвое после расширения технического задания.
Для оснащения предприятия планируется приобрести 73 единицы оборудования, большая часть которого — зарубежного производства. На данный момент законтрактовано 49 установок, 30 из них уже поставлены. Часть техники поставят российские и белорусские компании, включая многолучевой лазерный генератор для изготовления фотошаблонов с нормами до 250 нм и систему контроля дефектов размером до 90 нм.
Большинство оборудования планируется ввести в эксплуатацию до конца 2026 года. К этому же сроку должен быть построен новый производственный корпус площадью 14,5 тыс. кв. м. Проектная мощность центра составит не менее 5,5 тыс. фотошаблонов в год с возможностью увеличения до 10 тыс.
Освоение технологий будет проходить поэтапно. В 2026–2027 годах предприятие планирует наладить выпуск фотошаблонов для техпроцессов 350 и 250 нм, в 2028–2029 годах — 180 и 90 нм. К 2030 году центр должен освоить нормы 65 нм, а в перспективе — выйти на производство для 28-нанометрового техпроцесса. Основными заказчиками продукции станут российские производители микроэлектроники, включая «Микрон», «НМ-Тех» и НИИМЭ.
Подписывайтесь на наш Telegram-канал, чтобы быть в курсе всех новостей и событий Рунета.
